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山東不銹鋼風(fēng)淋室半導(dǎo)體車間的應(yīng)用

發(fā)布時(shí)間:2023-07-31 08:11:56

山東不銹鋼風(fēng)淋室半導(dǎo)體車間的應(yīng)用文章概要:潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的

山東不銹鋼風(fēng)淋室半導(dǎo)體車間的應(yīng)用

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定,但在滿足工藝要求的條件下,

應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴(yán)的趨勢。

具體工藝對溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來越精細(xì),所以對溫度波動(dòng)范圍的要求越來越小。

例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。

直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。24um線性膨脹,所以應(yīng)該有0。1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,

是怕鈉的半導(dǎo)體車間因?yàn)槿顺龊挂院?,對產(chǎn)品將有污染,

不銹鋼風(fēng)淋室特別特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間溫度不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。

相對濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在*密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。

風(fēng)淋室標(biāo)準(zhǔn)功能配置及產(chǎn)品特,相對濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過空氣中的水分子?

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