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風淋室在微電子行業中使用的結構原理

發布時間:2023-12-28 09:42:10

風淋室在微電子行業中使用的結構原理文章概要:微電子行業使用的風淋室跟普通場所用的風淋室除了部分細節方面的設置以外,總體結構原理基本相同,微電子行業使用的風淋室對除塵效果要求相對會更高的一些,如果一個小的部件做不到位,那可能帶來的就無法估量了,凈化在這里簡單說一下風淋室的結構原理。1、概述:風淋室是潔凈廠房和裝配式潔凈室的設備,用于吹除進入凈化

風淋室在微電子行業中使用的結構原理

微電子行業使用的風淋室跟普通場所用的風淋室除了部分細節方面的設置以外,總體結構原理基本相同,微電子行業使用的風淋室對除塵效果要求相對會更高的一些,如果一個小的部件做不到位,那可能帶來的就無法估量了,凈化在這里簡單說一下風淋室的結構原理。

1、概述:風淋室是潔凈廠房和裝配式潔凈室的設備,用于吹除進入凈化廠房的人體和攜帶物品表面附著的塵埃,同時風淋室也起到氣閘的作用,防止未經凈化的空氣進入潔凈區域,是進行人體凈化和防止外空氣污染潔凈區的有效設備。

結構:系列風淋室均采用發泡隔熱彩色壁板及鋁合金構件裝備而成,配置離心機風機及初效和空氣過濾器,具有外型美觀、結構緊湊、檢修方便、操作簡單等特點。

2、原理:風淋室內的空氣由風機的作用經初效過濾器進入靜壓箱,經空氣過濾器過濾后,潔凈空氣從風淋室的噴嘴高速噴出,噴嘴角度可調節,可有效地吹除人特或攜帶物品表面附著的塵埃,吹下的塵埃再回收進入初效空氣過濾器,如此循環可以達到風淋的目的。

3、用途及特點:風淋室是操作人員進入潔凈室時使用的人身凈化裝置,它利用高速潔凈氣流吹淋除掉進入室內人員身上的污物,其噴嘴可調節,以便有效除去人身上的灰塵,并阻止外界污染進入潔凈區域。它也可應用于大件貨物的吹淋。

4、設備組成:主要由室體、照明、過濾系統、風機組、吹嘴、電控等部分組成。

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